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          12英寸及以上晶體生長爐  
          簡要說明:
           
          詳細內容  

          設備參數:

          指標

          參數

          指標

          參數

          晶體直徑

          φ8"/φ14"

          熔料量

          380Kg

          主爐室尺寸

          φ900×1250mm

          翻板閥通徑

          φ420mm

          拉伸腔尺寸

          φ450×2270mm

          電源

          3相380V±10%,50HZ

          變壓器容量

          230KVA

          冷爐極限真空度

          3Pa

          加熱器最大加熱功率

          150KVA

          加熱器最高加熱電壓

          60V

          主機最大高度

          7200mm

          籽晶拉速范圍

          0~12.5mm/min

          籽晶快速范圍

          ≥400mm/min

          籽晶轉速范圍

          0~50R/min

          坩堝升速范圍

          0~2mm/min

          坩堝快速范圍

          ≥100mm/min

          坩堝轉速范圍

          0~20R/min

          籽晶提升有效行程

          2250mm

          坩堝升降有效行程

          400mm

           

           

          主機占地面積

          2700mmX1500mm

          整機占地面積

          5500mmX3000mm

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